E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 StdTpc-Wafer Edge Profile the sum of the peak

the sum of the peak height Zp and the valley depth Zv are reported

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。FOBITに対するメカニカルインタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。しかしながら，金属製や射出成型プラスチック製のFOBITの両方がスタンダードに準拠して製造できるように，本スタンダードは作成されている。

Perfluoromethylether-based Perfluoro-alkoxy (MFA) and powders of polytetrafluoro-ethylene (PTFE)

SEMI E6-82 (first published)

SEMI G86-0303 (first published)

E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 StdTpc-Wafer Edge Profile the sum of the peakNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Metrics Global Technical Committee200118global Audits and Reviews Subcommittee20072www. semi. org199520013 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not