F10500 - SEMI F105 - Guide for Metallic Material Compatibility in Gas Distribution Systems StdPbc-1011 SEMI E109-0302 (technical revision)

SEMI E109-0302 (technical revision)

SEMI C28-0618 (technical revision)

本文書の目的は，半導体産業で使用されるメチルエチルケトンに対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。本文書は，メチルエチルケトンに対して要求が認められたグレードのガイドラインも示す。ガイドラインの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

the user should create a Site-Specific Facilities Services and Termination Matrix (refer to Table 2) that is submitted with the request for a quote

SEMI E35-0299 (technical revision)

F10500 - SEMI F105 - Guide for Metallic Material Compatibility in Gas Distribution Systems StdPbc-1011 SEMI E109-0302 (technical revision)The purpose of this Guide is to document the industry acceptable compatibility of metallic materials with semiconductor process gases. This Guide is applicable to metallic materials that are exposed to process gases within the gas distribution systems of semiconductor manufacturing equipment. It is not applicable to high pressure, bulk delivery systems. This Guide is specific to High Purity and Ultra High Purity chemical delivery systems. Referenced